2024年2月15日 星期四

技術筆記:超音波技術

一個音波從探頭出發、遇到物體反射回來,波速固定下,波的來回(飛行)時間和距離是可以互相換算的。不同組織傳遞速度不同,波的回覆時間也不同,就可據此推測目前的組織密度。

但此種一維的聲波,打到生物組織後,會往三維空間亂跑亂射,就會分不清楚訊號到底是在哪裡遇到甚麼東西,所以超音波系統都是用陣列探頭來做。陣列探頭就是掃描的那根探頭其實是有數十個到上百個小探頭組成,原理像是指向性喇叭或收音設備,會有聚焦處理來專注在目標方向、深度的波源。

超音波發射聚焦 參考 參考

在電路中,會計算設定的掃描深度位置,對應到各個小探頭的time-of-flight,把每個探頭的發射時間微調到能讓波前同時抵達目標區域,達成建設性干涉波,其他區域的訊號則因破壞性干涉而降低,這就是所謂的發射聚焦;反之亦然,接收回波訊號時,會再對每個深度點分別做時間延遲並加總的計算,來達到接收聚焦、重建出每處的訊號大小。這是將電訊號轉為波訊號,再將波訊號轉變為電訊號的過程。DIY套件連結 連結  連結  玩具約40khz。

而這種聚焦方式,一次發射訊號只能在特定深度和方向。以一幅常見的B-mode扇形影像為例,都是經過至少數十次不同角度的掃描才運算重組出來的,運算的原始資料量還會多到每秒幾GB。其他像是color doppler mode之類的掃描,大多也是經過這類聚焦後的原始資料運算得來(連結)。

關於超音波,還有個重要分支要介紹,就是製程改變。傳統超音波掃描器採用壓電晶體(crystal)建立體內影像,新製程,採用Capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT)電容式微機械超音波感測器技術,利用標準CMOS製程和微機電製程技術MEMS,CMOS製程主要以氧化層作為換能器薄膜材料,並以金屬層、插銷層完成該CMUT換能器基本結構。微機電MEMS利用蝕刻和光阻做為犧牲層材料進行製作掏空。

參考台大團隊實驗(連結 連結),開發出來的CMOS-MEMS CMUT其中心頻率大概7~8MHz,比例頻寬(Fractional Bandwidth)大約75%~85%,靈敏度為2.894mV/kPa,由商用Pulser PR5900(Panametrics Inc., Waltham, MA, USA)致動,其發射聲場大約為760kPa。

類似製程的躍進,直接影響就是更便宜,體積更小,解析度更高的產品,如Butterfly Network產品橫空出世。題外話1,看到一篇專業醫師評測,四個產品中,Butterfly是第四名。題外話2,找到一個牠在台灣招募的資料。

連結
另外就是,工研院有幾個類似科專計畫,還有台灣超象科技(連結)也在做同樣的產品。

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